진공코팅
엠브라운은 다양한 박막 응용분야에서 사용할 수 있도록 폭넓은 범위의 옵션과 맞춤형 솔루션을 제공하는 코팅 시스템을 설계합니다. 엠브라운의 코팅 시스템은 열 증착, 온도제어 증착 (예를 들어 유기재료), Co-Deposition, RF, DC, 또는 펄스 직류 마그네트론 스퍼터링식, 전자 빔 증착, 그리고 반응성 기체를 이용하는 반응성 RF 마그네트론 스퍼터링 등 모든 주요 증착 기술을 이너트 가스 시스템에 결합 또는 단독 공정 설비를 제공합니다.
증착기
페로브스카이트를 위한 특별한 설계
- 효율적인 연구 개발을 위한 이상적인 시스템
- 특별한 시스템 설계
- 특화된 전구체 소스
- 저온에서 높은 안정성
- 안정적인 증착 공정
- 고진공
- 낮은 간섭(cross-talk)
- 높은 재현성
- 긴 장비 수명을 위한 재료의 호환성
- 특허 출원 중