Zubehör & Ersatzteile
Eine leere Glovebox kann jeder verwenden - aber wir können Ihre Glovebox nicht nur zu einer versiegelten Box machen, sondern zu einem Prozessoptimierer, mit integrierten Optionen und Erweiterungen, die perfekt auf Ihren Anwendungsbereich abgestimmt sind. Nachfolgend finden Sie einige Beispiele für Optionen und Erweiterungen, aber fragen Sie uns auch gerne individuell nach Ihrem Bedarf. Wir finden Lösungen für Ihre Bedürfnisse!
Verdampferquellen
Organische Molekularverdampfer (DE-Serie)
- Einzel-Quelle DE-x
Organische Mehrfachmolekularverdampfer (DE-Serie)
- Organische Multi-Source-Verdampfer DE-[multi]-x
- Mini-Multiquellenverdampfer DE-[multi]-0,5
Bootstyp-Metallverdampfer (MEB-Serie)
- Bootstyp-Metallverdampfer MEB-x
Tiegel-Metallverdampfer (ME-Serie)
- Tiegel-Metallverdampfer ME-x
Verdampfer-Specials
- Organischer Molekularverdampfer mit mehreren Zonen
- Multi-Source-Baugruppen
- Einziehbares Verdampferwerkzeug
Zubehör: Tiegel & Boote
- Tiegel
- Metalltiegel BO-x
- Lineare Verdampfungsquellen
Lineare Verdampfungsquellen
Komponenten für Verdampfer
Prozess-Komponenten
- Wobble-Stick
- In-Vakuum-Materialreservoir
- Substrat-Heizung
- Hochtemperatur-Substrat-Heizung
- Heiz-Kühl-Station
- Automatisierte Maskenstation
- Segmentierter Viewport-Verschluss
Quellen-Shutter
- Rotations-Verschluss
- Flip-Verschluss
Kundenspezifische Durchführungen
- Hochstrom-Durchführung
- Thermoelement-Durchführung
- Multi-Pin Stromdurchführung
- Durchführung für Frequenzsensor
In-Vakuum-Steckverbinder
Spezielle Ausrüstung
- Vakuum-Transportbox
Lineare Verdampfungsquellen
