글러브 박스 내부의 스핀 코팅을 위한 솔루션
제어된 불활성 가스 분위기에서의 스핀 코팅
MBRAUN은 초고순도 불활성 가스 분위기에서 스핀 코팅 공정을 구현하여 다양한 코팅 공정에 최적의 작업 환경을 제공합니다. MBRAUN 글로브박스 시스템은 항상 안정적이고 정밀하게 제어되는 분위기를 유지하여, 가장 민감한 소재도 안전하고 신뢰성 있게 처리할 수 있도록 지원합니다.
- 민감한 소재의 안정적인 공정 수행
- 산소 및 수분에 의한 원치 않는 반응 방지
- 높은 재현성을 위한 안정적인 공정 환경
- 용매 기반 공정의 안전한 처리
보다 까다로운 공정을 위해 MBRAUN의 층류(Laminar Flow) 시스템을 적용할 수 있습니다. 거의 무입자 수준의 작업 환경을 제공하여 오염 위험을 최소화하고, 더욱 높은 공정 신뢰성과 우수한 코팅 품질을 실현합니다.
시스템 통합 파트너, MBRAUN Spin Coating
MBRAUN은 검증된 글로벌 기술 파트너 네트워크를 기반으로 고객의 공정에 적합한 Spin Coater 선정부터 지원합니다.
또한 초기 설계 단계부터 설치 및 시운전까지 프로젝트 전 과정을 함께하며, 모든 시스템 구성 요소를 최적으로 통합하여 높은 공정 안정성과 효율성을 갖춘 완전한 솔루션을 제공합니다. 단순한 개별 장비가 아닌, 하나의 공급처에서 제공되는 완벽하게 통합된 시스템을 경험하실 수 있습니다.
제공 서비스
- 최적의 Spin Coating 시스템 선정 및 사양 검토
- 신규 또는 기존 글로브박스 시스템과의 기계적 통합
- 유틸리티 공급 및 공정 인터페이스 설계·구현
- 종합적인 안전 시스템 설계
- 프로젝트 전반의 통합 관리 및 구축
작업자의 편의성을 높이기 위해 일반적인 테이블 상부 설치 방식뿐만 아니라 글로브박스 바닥 매립형(In-Deck Installation) 설치도 제공합니다.
Spin Coating은 균일한 박막을 형성하기 위한 대표적인 코팅 기술로, 연구개발뿐만 아니라 산업 생산 현장에서도 널리 사용됩니다.
액상의 코팅 용액을 회전하는 기판 중앙에 일정량 공급하면 원심력에 의해 용액이 기판 전체에 균일하게 퍼지면서 정밀하게 제어된 박막이 형성됩니다.
공정이 간단하고 재현성이 뛰어나며, 마이크로미터 및 나노미터 수준의 박막 두께를 정밀하게 제어할 수 있다는 점이 가장 큰 장점입니다.
Spin Coating에서는 액상 코팅 용액을 기판 위에 도포한 후, 기판을 최대 10,000 rpm의 고속으로 회전시킵니다. 원심력에 의해 용액이 기판 전체에 균일하게 분포되며, 매우 균일한 박막이 형성됩니다. 용액의 점도와 표면 특성 등의 재료 특성뿐만 아니라, 가속도, 회전 속도 및 용액 공급 타이밍과 같은 공정 변수를 최적화하여 원하는 박막 특성을 구현할 수 있습니다.
Spin Coating은 평탄한 기판 위에 얇고 균일하며 재현성 높은 박막이 요구되는 경우에 사용됩니다.
특히 액상 코팅 재료에 적합하며 다음과 같은 분야에서 널리 활용됩니다.
- 반도체 제조에서 웨이퍼(Photoresist) 코팅
- 광학 분야의 렌즈 및 유리 코팅
- 박막, 고분자 및 나노소재 연구개발
주요 장점
불활성 가스 분위기에서의 Spin Coating 솔루션이 필요하신가요?
고객의 공정에 가장 적합한 솔루션을 MBRAUN 전문가가 함께 제안해 드립니다.