페로브스카이트 증착 시스템
페로브스카이트 태양전지는 차세대 태양광 기술 가운데 가장 유망한 기술 중 하나입니다. 독특한 결정 구조와 광학적 특성을 자유롭게 조절할 수 있는 특성 덕분에 기존 태양전지보다 훨씬 높은 효율을 구현할 수 있습니다.
특히 실리콘(Silicon) 또는 CIGS와 결합한 탠덤(Tandem) 태양전지는 태양광 스펙트럼을 더욱 효과적으로 활용하여 기존 기술보다 높은 발전 효율을 제공합니다. 페로브스카이트의 또 다른 장점은 수백 나노미터 수준의 매우 얇은 박막만으로도 뛰어난 성능을 구현할 수 있다는 점입니다.
이는 소재 사용량과 생산 비용을 줄이는 동시에 높은 광전 변환 효율을 가능하게 합니다. MBRAUN은 이러한 민감한 페로브스카이트 소재의 정밀한 진공 증착을 위해 MINI-PEROvap 및 PEROvap 시스템을 개발하였습니다.
특히 혁신적인 진공 챔버 냉각 설계를 통해 교차 오염(Cross Contamination)과 챔버 내부 재증발(Re-evaporation)을 최소화하여 안정적이고 재현성 높은 고품질 증착 공정을 구현합니다.
제품 바로 보기
MINI-PEROvap
- 페로브스카이트 전용 시스템
- 연구개발에 최적화된 컴팩트 플랫폼
- 최대 50 × 50 mm² 시편 지원
- LTE / ULTE / HTE Source 최대 4개
- 막 두께 균일도 ≤ ±5% (Ø30 mm)
제품 소개
MINI-PEROvap은 최대 50 × 50 mm² 크기의 시편을 처리할 수 있으며, 연구개발을 위한 컴팩트하고 효율적인 페로브스카이트 증착 시스템입니다.
최소한의 설치 공간과 뛰어난 공정 안정성을 동시에 제공하며 기존 MBRAUN 글러브박스에도 손쉽게 통합할 수 있습니다.
특허받은 PEROvap 공정 기술을 적용하여 Cross-talk 및 Re-evaporation 현상을 거의 완벽하게 제거하였으며, 까다로운 소재에서도 안정적이고 재현성 높은 증착 결과를 제공합니다.
응용분야
PEROvap
- 재증발(Re-evaporation) 및 Cross-talk 최소화를 위한 최적 설계
- 페로브스카이트 태양전지 전용 시스템
- 표준 태양전지 웨이퍼 크기에 최적화된 연구개발 장비
- 전용 시스템 설계
- 기판 및 마스크 자동 핸들링
- 최대 8개의 Source (Co-Deposition)
- 저온에서도 뛰어난 공정 안정성
- 안정적이고 정밀한 증착 공정
- 높은 재현성
- 우수한 소재 호환성과 긴 수명
제품 소개
PEROvap은 M12+ 크기의 기판까지 지원하며, 기판 및 마스크 핸들링 시스템이 통합되어 효율적인 배치(Batch) 생산이 가능합니다. 높은 공정 안정성과 유연성을 제공하여 공정 조건을 빠르고 정밀하게 변경할 수 있으므로 연구개발, 공정 최적화 및 양산 공정 구축에 매우 적합합니다.
특허받은 시스템 설계를 통해 재증발과 Cross-talk 현상을 사실상 제거하였으며, 휘발성이 매우 높은 소재도 안정적이고 정밀하게 증착할 수 있습니다.
PEROvap은 높은 생산성과 우수한 공정 제어 성능을 동시에 제공하여 최신 페로브스카이트 태양전지 연구 및 생산에 최적의 솔루션을 제공합니다.
응용분야
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MBRAUN 전문가가 고객의 공정과 기술 요구사항을 함께 검토하여 최적의 증착 시스템을 제안해 드립니다.