정밀한 공정 제어를 위한 진공 코팅 시스템
MBRAUN은 진공 코팅 분야에서 자체 기술로 시스템을 개발하고 제조합니다. 진공 챔버 설계부터 공정 통합, 불활성 가스 환경과의 연계까지 모든 요소를 자체 기술로 설계하여 하나의 완전한 시스템으로 제공합니다.
연구개발부터 산업 생산까지 MBRAUN의 진공 코팅 시스템은 박막 공정을 정밀하게 제어할 수 있도록 설계되었습니다.
확장 가능한 시스템 구성, 뛰어난 공정 안정성 및 최적화된 시스템 설계를 통해 고객의 공정 효율을 극대화합니다.
MINIvap
- 최대 50 × 50 mm² 시편 지원
- LTE 또는 HTE 증발원 최대 3개
- Thermal Evaporator 최대 2개(옵션)
- 막 두께 균일도 ≤ ±5% (Ø30 mm)
- Standalone 또는 글러브박스 통합형 선택 가능
제품 소개
MINIvap은 MBRAUN 진공 코팅 시스템의 엔트리 모델입니다. 최대 50 × 50 mm² 시편을 지원하며, 핵심 기능 중심의 간단한 시스템 제어와 최소한의 교육만으로 최대 3가지 소재를 안정적으로 증착할 수 있습니다.
컴팩트한 설계로 기존 글러브박스에도 손쉽게 통합할 수 있으며, 연구개발 및 소규모 생산 환경에서 높은 유연성과 효율성을 제공합니다.
모듈형 설계를 통해 향후 공정 요구사항에 맞춰 손쉽게 확장할 수 있습니다.
ECOvap
- 최대 100 × 100 mm² (Ø156 mm / 6") 시편
- 최대 4개의 자유로운 Source 구성
- LTE / HTE / THE 선택 가능
- Co-Deposition 지원
- 최대 500°C Substrate Heater 옵션
- 막 두께 균일도 ≤ ±3%
제품 소개
ECOvap은 완전한 PLC 제어 시스템으로 발전한 차세대 진공 코팅 시스템입니다. 단일층부터 다층 박막까지 다양한 공정을 수행할 수 있으며, 옵션인 기판 히터를 통해 더욱 복잡한 공정을 지원합니다. 글러브박스와 완전 통합되어 시료와 소재를 안전한 불활성 가스 환경에서 처리할 수 있습니다.
높은 공정 안정성과 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하며 연구개발과 파일럿 생산에 적합합니다.
UNIvap
- 최대 150 × 150 mm² (Ø156 mm / 6") 시편
- 최대 8개의 자유로운 Source 구성
- 막 두께 균일도 ≤ ±3%
- UNIvap 4S / 5S 모델
- 별도의 제어반이 필요 없는 Standalone 시스템
- 10인치 터치패널 기반 PLC 자동 제어
제품 소개
UNIvap은 글러브박스가 필요하지 않은 다양한 박막 공정에 적합한 시스템입니다. 유기소재, 금속 증착, 광학 코팅 등 폭넓은 응용 분야를 지원하며, 최대 8개의 Source를 자유롭게 구성할 수 있습니다. 자동 레시피와 고객 맞춤형 Source 구성을 통해 연구개발, 샘플 제작 및 소량 생산까지 모두 대응할 수 있습니다.
강력한 공정 제어와 뛰어난 재현성으로 안정적인 박막 품질을 제공합니다.
응용분야
PROvap
- 최대 150 × 150 mm² (Ø156 mm / 6") 시편
- 최대 8개의 자유로운 Source 구성
- 막 두께 균일도 ≤ ±3%
- PROvap 4G / 5G 모델
- Standalone 시스템
- PLC 기반 10인치 터치패널 자동 제어
- 서비스 도어를 포함한 글러브박스 완전 통합형
제품 소개
PROvap은 글러브박스 내부에서 사용하도록 설계된 진공 코팅 시스템입니다. 유기소재, 금속 증착, 광학 코팅 등 다양한 공정을 하나의 시스템에서 수행할 수 있으며 자동 레시피와 고객 맞춤형 Source 구성을 제공합니다. 글러브박스와 완전히 통합되어 민감한 소재를 안전한 불활성 가스 분위기에서 처리할 수 있으며, 뛰어난 공정 안정성과 높은 박막 품질을 제공합니다.
모듈형 설계로 향후 확장도 용이합니다.
OPTIvap
- 최대 200 × 200 mm² (Ø200 mm / 8") 시편
- 유연한 모듈형 시스템
- Standalone(S) 또는 글러브박스 통합형(G)
- OPTIvap 4 S/G 및 6 S/G
- Cluster Tool 구축 가능
- Multi-Substrate 및 Multi-Mask 공정 지원
- 막 두께 균일도 ≤ ±3%
제품 소개
OPTIvap은 최대 14개의 Source를 자유롭게 구성할 수 있는 MBRAUN의 최고급 진공 코팅 플랫폼입니다. 유기소재, 금속 증착 및 광학 코팅 등 거의 모든 박막 공정을 지원하며 연구개발부터 소량 생산까지 폭넓게 활용됩니다. Standalone 시스템 또는 글러브박스 통합형으로 제공되며, Cluster Tool에 통합하여 여러 공정 모듈을 하나의 연속 생산 라인으로 연결할 수도 있습니다.
정밀한 공정 제어와 뛰어난 재현성은 물론, 모듈형 설계를 통해 향후 공정 확장에도 유연하게 대응할 수 있습니다.
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