소재의 안전한 반입·반출을 위한
글러브박스 트랜스퍼 챔버
글러브박스 **트랜스퍼 챔버(Antechamber)**는 불활성 가스 분위기를 유지한 상태에서 시료, 부품 및 장비를 안전하게 반입·반출하기 위한 핵심 구성 요소입니다.
내부 분위기를 유지하면서 소재를 이동할 수 있어 산소와 수분에 민감한 공정에서도 안정적인 작업 환경을 제공합니다.
MBRAUN은 수십 년간 연구개발부터 산업 생산까지 다양한 응용 분야를 위한 고성능 트랜스퍼 챔버를 개발해 왔습니다. 진공 트랜스퍼 챔버, 원형 및 사각형 챔버, 가열식 챔버, 퍼지(Purge) 챔버 등 다양한 제품을 공정 특성과 소재에 맞추어 제공합니다.
트랜스퍼 챔버 구성
MBRAUN 글러브박스는 일반적으로 두 개의 원통형 트랜스퍼 챔버를 기본으로 구성하여 효율적인 소재 이송을 지원합니다.
Mini Antechamber (소형 진공 트랜스퍼 챔버)
- 소형 시료의 신속한 반입·반출
- 작은 챔버 용적으로 가스 소비량 절감
- 짧은 사이클 타임
- 슬라이딩 트레이 기본 적용
Standard Antechamber (대형 진공 트랜스퍼 챔버)
- 대형 시료 및 많은 양의 소재 처리
- 슬라이딩 트레이를 통한 편리한 작업
응용 분야와 처리 대상에 따라 다양한 타입의 트랜스퍼 챔버를 선택할 수 있습니다.
- 진공 트랜스퍼 챔버 (Vacuum Antechamber)
- 진공 및 불활성 가스 충전을 반복하여 산소와 수분 최소화
- 원형 트랜스퍼 챔버 (Round Antechamber)
- 컴팩트한 구조
- 소형 시료 및 제한된 설치 공간에 적합
- 사각형 트랜스퍼 챔버 (Rectangular Antechamber)
- 대형 부품 및 높은 처리량에 적합
- 넓은 내부 공간 제공
- 가열식 트랜스퍼 챔버 (Heated Antechamber)
- 소재 반입 전 건조 공정 지원
- 수분 제거를 통한 공정 안정성 향상
- 퍼지 트랜스퍼 챔버 (Purge Antechamber)
- 진공 처리가 어려운 소재에 적합
- 불활성 가스를 이용한 퍼지 방식 적용
트랜스퍼 챔버의 크기와 형상은 고객의 공정 및 장비 요구사항에 맞추어 설계됩니다.
트랜스퍼 챔버 사이클
진공 트랜스퍼 챔버를 이용한 일반적인 반입 절차는 다음과 같습니다.
- 소재 적재
시료 또는 부품을 트랜스퍼 챔버에 넣고 외부 도어를 닫습니다. - 진공 형성
진공 펌프를 이용하여 챔버 내부를 배기합니다. - 불활성 가스 충전
질소(N₂), 아르곤(Ar), 헬륨(He) 등의 불활성 가스를 충전합니다. - 사이클 반복
일반적으로 진공 및 가스 충전 과정을 약 3회 반복하여 산소와 수분을 충분히 제거합니다. - 압력 평형
트랜스퍼 챔버 내부 압력을 글러브박스 내부 압력과 동일하게 맞춥니다. - 내부 도어 개방
글러브박스 내부에서 안전하게 도어를 열고 소재를 작업 공간으로 이동합니다.
진공 처리가 어려운 민감한 소재의 경우에는 퍼지(Purge) 방식을 사용하여 불활성 가스로 내부를 치환한 후 반입합니다.