MINIPEROvap
Mini-PVD-Kammer 100% speziell für Perowskite
- Kann in bestehende MBRAUN Gloveboxen integriert werden (durch Vorkammer)
- Kompakte Bauweise
- Für Untergründe bis 50x50 mm
- Bis zu 4 Quellen
- Schichtgleichmäßigkeit< +/-5 %
- Wirtschaftliche Lösung
- Kurze Lieferzeit
- Einfaches Nachrüsten in bestehende Gloveboxen
