OPTIvap
- Flexibles, modulares System
- Stand-alone (S) oder Glovebox integriert (G)
- Baustein für Cluster-Tool
- Multi-Substrat-& Multi-Masken-Prozesse
- Standard Einheitlichkeit: +/- 3 % (bei spezifischer Geometriegestaltung bis zu +/1 %)
- Substratgröße bis 150x150 mm oder Durchmesser 150 mm (6") für OPTIvap 4
- Substratgröße bis 200x200 mm oder Durchmesser 280 mm (8") für OPTIvap 6
(nbsp)
Anwendungen:
- Komplexe Multilayer-Bauelemente (OLED,OPV)
- Optische Schichten
- Halbleiter, PV
