Vakuumbeschichtungssysteme für höchste Prozesskontrolle
Im Bereich der Vakuumbeschichtung entwickelt und fertigt MBRAUN eigene Anlagensysteme. Von der Vakuumkammer über die Prozessintegration bis zur Einbindung in die Inertgasumgebung entsteht ein ganzheitliches, technisch abgestimmtes Systemkonzept aus eigener Entwicklung und Produktion.
Ob Forschung, Entwicklung oder industrielle Fertigung, unsere Vakuumbeschichtungssysteme bieten maximale Kontrolle über Ihre Dünnschichtprozesse. Profitieren Sie von skalierbaren Lösungen, hoher Prozessstabilität und perfekt abgestimmten Systemkonfigurationen.
MINIvap
- Probengröße bis zu 50x50mm² für Beschichtungsanwendungen im Labormaßstab
- Bis zu drei LTE oder HTE Quellen
- Optional zwei thermische Verdampfer (THE)
- Homogenität der Schichtdicke ≤ +/- 5% (∅ 30 mm)
- Sowohl als Standalone oder gloveboxintegriert erhältlich
Details:
Mit Probengrößen von bis zu 50 x 50 mm² stellt die MINIvap den Einstieg in das Vakuumbeschichtungsportfolio von MBraun dar. Durch die auf das Wesentliche reduzierte Anlagensteuerung und den geringen Schulungsbedarf bieten wir ein Anlagenkonzept, in dem im Halbautomatikbetrieb zuverlässig bis zu drei Materialien verdampft werden können. Der geringe Platzbedarf rundet die Idee der kompakten Bauweise ab und das System ist auch problemlos in bereits bestehende Gloveboxsysteme nachrüstbar.
Dank der durchdachten Konstruktion eignet sich die MINIvap besonders für Forschung, Entwicklung und kleinere Produktionsumgebungen, in denen Flexibilität und Effizienz entscheidend sind. Gleichzeitig ermöglicht die modulare Auslegung eine einfache Anpassung an spezifische Prozessanforderungen und bietet damit eine zukunftssichere Lösung für unterschiedlichste Anwendungen.
Anwendungen
ECOvap
- Probengröße bis zu 100x100mm² (∅ 156mm/6“) für Beschichtungsanwendungen im Labormaßstab
- Bis zu 4 frei konfigurierbare Quellentypen
- Sowohl LTE, HTE oder THE Quellen in Standardgrößen auswählbar
- Co-Deposition
- 500°C Substratheizer optional erhältlich
- Homogenität für LTE, HTE und THE ≤ +/- 3%
Details:
Mit Probengrößen von 100 x 100 mm² und frei definierbaren Beschichtungsrezepten stellt die ECOvap die Vorstufe zu vollständig SPS-gesteuerten Beschichtungssystemen dar. Von Einzellagenschichten bis hin zu Multilagenschichten und dem optionalen Substratheizer können mit der ECOvap komplexere Schichtsysteme hergestellt werden. Durch die vollständige Integration in eine Glovebox ist der sichere Umgang mit Proben und Materialien in einer inerten Atmosphäre gewährleistet.
Die Anlage verbindet dabei hohe Prozessstabilität mit einer intuitiven Bedienung und eignet sich ideal für anspruchsvolle Entwicklungs- und Pilotanwendungen. Gleichzeitig sorgt die flexible Systemarchitektur für eine einfache Erweiterbarkeit, sodass auch zukünftige Anforderungen effizient umgesetzt werden können.
UNIvap
- Probengröße bis zu 150x150mm² (∅ 156mm/6“) für Beschichtungsanwendungen von Einzel- bis Kleinserienfertigung
- Bis zu 8 frei konfigurierbare Quellentypen
- Homogenität für LTE, HTE und THE ≤ +/- 3%
- Zwei Standardgrößen: UNIvap 4S und UNIvap 5S
- Standalone Anlage ohne zusätzlichen Schaltschrank
- Vollautomatisierter Betrieb über 10“ Panel und einer SPS
Details:
Durch die bis zu 8 frei konfigurierbaren Quellen deckt die UNIvap ein breites Spektrum an Beschichtungsprozessen ab, die keine Glovebox benötigen. Von Organik über Metallisierung bis hin zu optischen Schichten ist die UNIvap vielseitig und universell einsetzbar. Vollständig automatisierte Beschichtungsrezepte und die auf den Kunden zugeschnittene Quellenkonfiguration machen die UNIvap zu einem Alleskönner, die vom klassischen Versuch über Bemusterungen bis hin zur Kleinserie ihren Einsatz findet.
Die leistungsfähige Prozesssteuerung ermöglicht dabei eine hohe Reproduzierbarkeit und gleichbleibende Schichtqualität auch bei komplexen Anwendungen. Gleichzeitig bietet das System durch seine modulare Bauweise und Erweiterungsoptionen eine hohe Investitionssicherheit und lässt sich optimal an wachsende Anforderungen anpassen.
Anwendungen
PROvap
- Probengröße bis zu 150x150mm² (∅ 156mm/6“) für Beschichtungsanwendungen von Einzel- bis Kleinserienfertigung
- Bis zu 8 frei konfigurierbare Quellentypen
- Homogenität für LTE, HTE und THE ≤ +/- 3%
- Zwei Standardgrößen: PROvap 4G und PROvap 5G
- Standalone Anlage ohne zusätzlichen Schaltschrank
- Vollautomatisierter Betrieb über 10“ Panel und einer SPS
- System vollständig in Glovebox integriert mit zusätzlicher Servicetür
Details:
Durch die bis zu 8 frei konfigurierbaren Quellen deckt die PROvap ein breites Spektrum an Beschichtungsprozessen ab und ist dabei konsequent für den Einsatz in einer Glovebox ausgelegt. Von organischen Materialien über Metallisierung bis hin zu optischen Schichten ist die PROvap vielseitig und universell einsetzbar. Vollständig automatisierte Beschichtungsrezepte sowie die individuell auf den Kunden abgestimmte Quellenkonfiguration machen die PROvap zu einem leistungsstarken System, das vom klassischen Versuch über Bemusterungen bis hin zur Kleinserie eingesetzt wird.
Die vollständige Integration in eine Glovebox gewährleistet dabei den sicheren Umgang mit empfindlichen Materialien unter kontrollierter, inerter Atmosphäre. Gleichzeitig sorgt die präzise Prozessführung für eine hohe Reproduzierbarkeit und konstant hohe Schichtqualität, während die modulare Bauweise eine flexible Anpassung an zukünftige Anforderungen ermöglicht
Anwendungen
OPTIvap
- Probengröße bis zu 200x200mm² (∅ 200mm/8“) für Beschichtungsanwendungen von Einzel- bis Kleinserienfertigung
- Flexibles, modulares System
- Stand-alone (S) oder Glovebox integriert (G)
- Zwei Standardgrößen: OPTIvap 4 S/G und OPTIvap 6 S/G
- Baustein für Cluster-Tool
- Multi-Substrat-& Multi-Masken-Prozesse
- Homogenität für LTE, HTE und THE ≤ +/- 3%
Details:
Durch die Ausstattung mit bis zu 14 frei konfigurierbaren Quellen deckt die OPTIvap ein besonders breites Spektrum an Beschichtungsprozessen ab. Von organischen Materialien über Metallisierung bis hin zu optischen Schichten ist die OPTIvap vielseitig und universell einsetzbar. Vollautomatisierte Beschichtungsrezepte sowie eine individuell auf den Kunden abgestimmte Quellenkonfiguration machen die OPTIvap zu einem leistungsstarken System, das vom klassischen Versuch über Bemusterungen bis hin zur Kleinserie eingesetzt wird.
Die Anlage ist sowohl als vollständig in eine Glovebox integrierte Lösung als auch als Standalone-System verfügbar und lässt sich damit optimal an unterschiedliche Infrastruktur- und Prozessanforderungen anpassen. Darüber hinaus kann die OPTIvap als Baustein in ein Cluster-Tool integriert werden und ermöglicht so die Vernetzung mehrerer Prozessmodule für durchgängige und effiziente Fertigungsabläufe. Gleichzeitig gewährleistet die präzise Prozessführung eine hohe Reproduzierbarkeit und konstant hohe Schichtqualität, während die modulare Bauweise zusätzliche Flexibilität für zukünftige Erweiterungen bietet.
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